Łódź z płytek ceramicznych z węglika krzemu

Ceramiczna łódź z węglika krzemu to wydajne narzędzie transportowe przeznaczone do produkcji półprzewodników i procesów fotowoltaicznych. Wykonana jest z wysokiej czystości ceramicznego materiału z węglika krzemu (SiC), który powstaje w zaawansowanym procesie spiekania bezciśnieniowego. Posiada doskonałą odporność na wysokie temperatury, stabilność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną, stając się podstawowym materiałem eksploatacyjnym w transmisji wafli, wyżarzaniu w wysokiej temperaturze i innych precyzyjnych procesach.

1. Stabilność w ekstremalnych warunkach

Struktura molekularna ceramiki sic zapewnia jej niezwykle wysoką stabilność termiczną, co pozwala na zachowanie integralności strukturalnej w ciągłym środowisku o wysokiej temperaturze 1650°C. W porównaniu z konwencjonalnymi materiałami kwarcowymi lub glinowymi współczynnik rozszerzalności cieplnej łodzi sic jest bardzo niski (tylko 4.5×10^-6/°C), skutecznie zapobiegając deformacjom lub pęknięciom spowodowanym przez nagłe zmiany temperatury. W produkcji półprzewodników ta właściwość może znacznie zmniejszyć odchylenie przemieszczenia wafla w procesie wysokotemperaturowym i poprawić wydajność.

2. Bezkonkurencyjna odporność na korozję

Ceramika z węglika krzemu wykazuje silną odporność na silne kwasy (takie jak kwas fluorowodorowy, kwas siarkowy), silne zasady i gazy utleniające (Cl₂, O₂). Nawet w atmosferze siarki lub halogenu w temperaturze 1400°C powierzchnia pozostaje gładka i wolna od korozji, co zapewnia, że ​​na powierzchni płytki nie pozostają żadne zanieczyszczenia.

3. Długa żywotność i korzyści ekonomiczne

Dzięki unikalnemu procesowi zagęszczania powierzchni odporność na zużycie łódki z węglika krzemu jest ponad 15 razy wyższa niż w przypadku tradycyjnych materiałów. Rzeczywisty test pokazuje, że po 1000 cyklach w atmosferze utleniania 1400°C chropowatość powierzchni jest nadal niższa niż 0.2 μm Ra, a czasy obrotu mogą osiągnąć 5-8 razy więcej niż w przypadku zwykłych łódek ceramicznych, co znacznie zmniejsza częstotliwość wyłączania i wymiany sprzętu, a całościowa oszczędność kosztów wynosi ponad 30%.

Szybkie Szczegóły:

1. Inne nazwy: łódka z kryształu węglika krzemu, nośnik ceramiczny półprzewodnikowy.

2. Zastosowanie: Stosowany w procesach dyfuzji, utleniania i wyżarzania w wysokiej temperaturze w produkcji półprzewodników do przenoszenia płytek krzemowych i zapewnienia równomiernego rozprowadzania ciepła.

3. Podstawowe parametry: czystość ≥99.99%, maksymalna odporność na temperaturę 1500℃, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (4.5×10-6/℃), duża odporność na szok termiczny.

Wysokotemperaturowa obróbka cieplna płytek półprzewodnikowych (utlenianie, wyżarzanie, domieszkowanie). 

Powlekanie i spiekanie płytek w przemyśle fotowoltaicznym.

Bardzo wysoka stabilność temperaturowa: długotrwała odporność na temperaturę 1500°C, brak odkształceń i spadku wydajności.

Konstrukcja o niskim poziomie zanieczyszczeń: materiał o wysokiej czystości + proces bez użycia kleju, unikanie zanieczyszczenia jonami metali.

Długa żywotność: doskonała odporność na szok termiczny, dłuższa żywotność niż w przypadku nośnika kwarcowego, 3-5 razy.

Elastyczna personalizacja: rozmiar podparcia, rozstaw rowków, dostosowanie głębokości obróbki powierzchni.