EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Grzałka grafitowa powlekana SiC do MOCVD
Grzałka MOCVD z powłoką grafitową SiC firmy Semixlab to wysokowydajny podgrzewany nośnik przeznaczony do procesów produkcji półprzewodników, w których wykorzystuje się osadzanie chemiczne z fazy gazowej (CVD) w celu utworzenia jednolitej, gęstej powłoki węglika krzemu (SiC) na powierzchni podłoża grafitowego o bardzo wysokiej czystości.
OPIS
produkty Szczegóły
Grzałka MOCVD z powłoką grafitową SiC łączy doskonałą przewodność cieplną grafitu z odpornością na wysoką temperaturę i korozję powłok SiC. Jest szeroko stosowana w urządzeniach do osadzania chemicznego z fazy gazowej związków metaloorganicznych (MOCVD) w celu zapewnienia stabilności i wysokiej czystości w procesach epitaksji płytek.
Cechy produktu: Grzałka MOCVD z powłoką grafitową SiC
1. Bardzo wysoka czystość i stabilność chemiczna
Czystość ≥99.99995%: Nasz grzejnik grafitowy jest przygotowywany w procesie chlorowania CVD w wysokiej temperaturze, co skutecznie zapobiega zanieczyszczeniu zanieczyszczeniami metalicznymi i spełnia zapotrzebowanie na ultraczyste środowiska w produkcji półprzewodników.
Odporność na korozję chemiczną: Gęsta i bardzo twarda powłoka SiC (twardość Vickersa 2500-2800) jest odporna na erozję spowodowaną kwasami, zasadami, solami i rozpuszczalnikami organicznymi, co wydłuża żywotność sprzętu w środowisku gazów korozyjnych.
2. Doskonała odporność na wysoką temperaturę
Wysoka stabilność temperaturowa: wytrzymuje temperatury do 3000°C w atmosferze obojętnej, stabilną pracę do 2200°C w środowisku próżniowym i 1600-1700°C w środowisku utleniającym, co jest odpowiednie do ekstremalnych warunków komory reakcyjnej MOCVD.
Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (4.5 x 10-⁶K-¹): Ta cecha grzejnika grafitowego MOCVD skutecznie ogranicza pękanie lub łuszczenie się powłoki z powodu zmian temperatury, zapewniając integralność strukturalną w przypadku długotrwałych cykli termicznych.
3. Zoptymalizowana wydajność zarządzania termicznego
Wysoka przewodność cieplna (200–300 W/mK): Wysoka przewodność cieplna grzejnika MOCVD z grafitu sprawia, że produkt może szybko i równomiernie przenosić ciepło, zapewniając równomierny rozkład temperatury na powierzchni wafla (±1°C), co skutecznie poprawia jednorodność warstwy epitaksjalnej.
Projekt pola laminarnego przepływu gazu: Dzięki ciągłym iteracjom i udoskonaleniom technologicznym gładkość powierzchni naszego podgrzewacza MOCVD (Ra ≤ 0.8 μm) i optymalizacja geometrii zapewniają równomierne rozprowadzanie reaktywnych gazów i zmniejszają nierównomierność osadzania spowodowaną turbulencjami.
SPECYFIKACJA
Porównanie parametrów technicznych i zalety
| Charakterystyka | Grzałki pokryte SiC Semixlab | Konwencjonalne grzejniki grafitowe |
| Maksymalna temperatura robocza (obojętna) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Czystość chemiczna | ≥% 99.99995 | ≤ 99.99 |
| Przewodność cieplna | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Przyczepność powłoki | 415 MPa (zginanie 4-punktowe) | 100-200 MPa |
| Typowe życie (cykle) | > 500 cykli | 100-200 cykli |
Przewaga konkurencyjna
Dlaczego Semixlab?
Dostosowanie: Semixlab zobowiązuje się do dostarczania klientom produktów dostosowanych do ich potrzeb oraz usług technicznych. Wspieramy dostosowywanie niestandardowych rozmiarów (do średnicy 360 mm) i grubości powłok (20-500 μm), aby sprostać szerokiemu zakresowi potrzeb sprzętowych.
Certyfikacja globalna: Nasz grzejnik grafitowy powlekany SiC jest zgodny z normami SEMI i posiada certyfikat ISO 9001, a nasze produkty są eksportowane głównie do Europy i Stanów Zjednoczonych, a także do Japonii i Korei Południowej, gdzie charakteryzują się znaczną przewagą cenową w stosunku do wydajności.
Synergia techniczna: Semixlab od dawna utrzymuje bliską współpracę z czołowymi instytucjami badawczymi w Chinach, wykorzystując opatentowane technologie powlekania (takie jak proces SiC3 firmy CGT Carbon) w celu optymalizacji gęstości powłok i odporności na szok termiczny.
