EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Łódź i nośnik płytek kwarcowych klasy półprzewodnikowej
Łódeczka kwarcowa Semixlab High-Purity Quartz Wafer Boat – zwana również nośnikiem lub kasetą kwarcową – to element termiczny, szeroko stosowany w wysokotemperaturowym przetwarzaniu półprzewodników. Wykonana jest z ultraczystej topionej krzemionki (SiO₂ ≥ 99.999%) i służy jako nośnik strukturalny dla płytek krzemowych, SiC i GaN w procesach dyfuzji termicznej, utleniania, wyżarzania oraz LPCVD i PECVD.
OPIS
Przegląd produktów
Produkowane pod rygorystyczną kontrolą jakości, łódki kwarcowe Semixlab utrzymują całkowity poziom zanieczyszczeń metalicznych poniżej 15 ppm (potwierdzony przez GDMS lub ICP‑OES) i oferują opcję niskohydroksylową na poziomie <5 ppm. Produkty te wykazują wysoką odporność na uginanie, odkształcenia i zanieczyszczenie metalami podczas wymagających operacji w piecach wysokotemperaturowych.
Dostępne dostosowywanie
Semixlab zajmuje się produkcją łódek z płytek kwarcowych na zamówienie – w tym łódek drabinkowych, łódek płytowych poziomych, łódek skorupowych i transporterów wsadowych – budowanych według rysunków klienta, plików CAD i specyfikacji sprzętu.
SPECYFIKACJA
Kluczowe specyfikacje i parametry techniczne
| Właściwość | Wartość Semixlab | Korzyści |
| Czystość chemiczna | SiO₂ ≥ 99.999%; Fe, Cu, Li, Na, K < 15 ppm | Minimalizuje zanieczyszczenie metalami |
| Zawartość hydroksylowa | Niska zawartość OH < 5 ppm; Standardowa < 30 ppm | Poprawia stabilność w wysokich temperaturach |
| Temperatura pracy | 1200°C ciągła / 1300°C szczytowa | Utrzymuje sztywność podczas cykli pieca |
| Rozszerzalność termiczna | 0.45 × 10⁻⁶ /°C | Doskonała odporność na szok termiczny |
| Dokładność skoku szczeliny | ± 0.05 mm | Niezawodna, robotyczna obsługa płytek |
| Wykończenie powierzchni | Wyżarzanie płomieniowe / Mikropolerowanie (Rz < 0.8 μm) | Redukuje cząsteczki i mikropęknięcia |
Zastosowania
Aplikacje procesowe
· Piece do utleniania termicznego i wyżarzania
· Procesy dyfuzji domieszek boru/fosforu
· Osadzanie cienkich warstw LPCVD i PECVD
· Produkcja półprzewodników trzeciej generacji (SiC i GaN)
Przewaga konkurencyjna
Podstawowa propozycja wartości i zalety techniczne
1. Obróbka submikronowa i precyzyjne rowkowanie
Zaawansowana obróbka laserowa CNC i nacinanie diamentowe zapewniają nam ścisłą kontrolę nad geometrią nacięć, co wspomaga automatyczne ładowanie płytek i pomaga zapobiegać ich uszkodzeniom.
2. Topiony kwarc o ultraniskiej zawartości hydroksylu i wysokiej lepkości
Nasz specjalny kwarc topiony o niskiej liczbie grup OH zapewnia dobrą stabilność strukturalną i minimalizuje zmiany kształtu podczas długich cykli termicznych powyżej 1100°C.
3. Ochrona powierzchni polerowanej ogniem
Wyżarzanie płomieniowe i polerowanie chemiczne zwiększają gęstość powierzchni, poprawiają trwałość czyszczenia i redukują powstawanie cząstek.
4. Zgodność ze sprzętem OEM
Oferujemy niestandardowe zamienne łódki kwarcowe do systemów TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE i innych systemów obróbki cieplnej.
Nasze usługi
