Części kwarcowe

Kwarc wciąż jest wszechobecny w przetwórstwie półprzewodników. Nie jest nowy, ale jest niezawodny i większość fabryk zna jego zachowanie. O ile czystość jest kontrolowana, dobrze sprawdza się w procesach dyfuzji, utleniania i czyszczenia.

Wiele elementów kwarcowych trafia do systemów pieców lub narzędzi PECVD. Głównym oczekiwaniem jest stabilność – niekoniecznie długa żywotność, ale przewidywalna wydajność. To zazwyczaj wystarcza w przypadku wielu standardowych procesów.

Oczywiście kwarc ma swoje ograniczenia. W pewnych warunkach może zużywać się szybciej, zwłaszcza w porównaniu z węglikiem krzemu (SiC). Jednak ze względu na stosunkowo łatwy dostęp do niego i jego niską cenę, ludzie nadal często go używają.