Łódź SiC o wysokiej czystości

Łódka z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości to wysokowydajny nośnik ceramiczny przeznaczony do wysokotemperaturowych procesów półprzewodnikowych, wzrostu kryształów i precyzyjnej obróbki cieplnej. Jest spiekana z materiałem SiC o ultra wysokiej czystości i ma doskonałą odporność na wysokie temperatury, odporność na szok termiczny i stabilność chemiczną. Jest szeroko stosowana w dyfuzji półprzewodników, CVD, epitaksji LED i wzroście monokryształów fotowoltaicznych.

Podanie:

High Purity SiC Boat to kluczowy materiał eksploatacyjny do procesów półprzewodnikowych, używany głównie do przenoszenia i transferu płytek w środowiskach o wysokiej temperaturze, szeroko stosowany w dyfuzji płytek krzemowych, utlenianiu, wyżarzaniu i procesach CVD. Jest szczególnie odpowiedni do procesów wysokotemperaturowych półprzewodników trzeciej generacji (takich jak SiC/GaN) i urządzeń mocy.

Usługi, które mogą być świadczone:

analiza scenariuszy zastosowań u klientów, dobieranie materiałów, rozwiązywanie problemów technicznych.

Profil firmy:

Semixlab dysponuje 2 laboratoriami, zespołem ekspertów z 20-letnim doświadczeniem w zakresie materiałów, a także zapleczem badawczo-rozwojowym, produkcyjnym, testowym i weryfikacyjnym.

Parametry techniczne

Główne obszary zastosowań

Potwierdzenie weryfikacji łańcucha ekologicznego

Weryfikacja ekologicznego łańcucha dostaw łodzi Semixlab High-Purity SiC Boat obejmuje cały proces, od surowców po produkcję. Łódź przeszła certyfikację zgodną z międzynarodowymi standardami i dysponuje szeregiem opatentowanych technologii, które gwarantują niezawodność i zrównoważony rozwój w sektorze półprzewodników i nowej energii.

Typowy proces aplikacji

Przygotowanie surowca (proszek SiC o wysokiej czystości) → Proces formowania (prasowanie na sucho/prasowanie izostatyczne) → Proces spiekania → Obróbka mechaniczna i wykańczanie powierzchni (szlifowanie/polerowanie CNC, trawienie chemiczne, wyżarzanie) → Oczyszczanie i powlekanie CVD → Kontrola jakości → Pakowanie

Dzięki najnowocześniejszej optymalizacji parametrów procesu, unikalna konstrukcja strukturalna Semixlab High-Purity SiC Boat zapewnia doskonałą stabilność wafli, a jednocześnie znacznie zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia cząsteczkami. Jej żywotność może osiągnąć 5-8 razy większą niż w przypadku tradycyjnych łodzi kwarcowych, co czyni ją idealnym rozwiązaniem nośnym do przetwarzania wafli w wysokiej temperaturze. Ta innowacja umożliwia jej stopniowe zastępowanie importu na rynku półprzewodników, zapewniając wydajne, ekonomiczne rozwiązanie krajowe.

Aby uzyskać szczegółowe specyfikacje techniczne, dokumenty techniczne lub przykładowe ustalenia dotyczące testów, skontaktuj się z naszym zespołem wsparcia technicznego, aby dowiedzieć się, w jaki sposób Semixlab może zwiększyć wydajność Twojego procesu.

Zalety rdzeni łodzi z czystego SiC Semixlab

1. Ekstremalna czystość (kluczowa zaleta)

Łódka SiC o wysokiej czystości Semixlab charakteryzuje się bardzo wysoką czystością (≥99.9999%), a zawartość zanieczyszczeń (Fe, Al, Na itp.) jest kontrolowana na poziomie 1 ppm, aby uniknąć zanieczyszczenia płytek lub materiałów epitaksjalnych, co jest szczególnie przydatne w produkcji półprzewodników SiC/GaN.

2. Obojętność chemiczna (odporność na korozję)

Odporny na erozję kwasową, alkaliczną/plazmową i może wytrzymać gazy korozyjne, takie jak HF, HCl, H2 (takie jak procesy trawienia półprzewodników). Brak uwalniania gazu w wysokich temperaturach.

3. Wytrzymałość mechaniczna i żywotność

Ultra-wysoka twardość, doskonała odporność na zużycie, zmniejsza ryzyko odpryskiwania cząstek i wydłuża żywotność (zwykle 3 do 5 razy w porównaniu z łódką kwarcową). Niełatwo odkształca się w wysokich temperaturach, utrzymując płaskość wafla (np. odkształcenie w piecu dyfuzyjnym <0.1 mm).

4. Zgodność procesu

Możliwość dostosowania do różnych trudnych warunków, atmosfer utleniania/redukcji (takich jak O2, H2, Ar) i procesów powlekania CVD/PVD. Powierzchnię można dostosować, np. poprzez polerowanie (Ra<0.1μm) lub powlekanie (takie jak SiO2), aby jeszcze bardziej zmniejszyć zanieczyszczenie.