EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wysokiej czystości miękki filc
Miękki filc o wysokiej czystości firmy Semixlab został opracowany specjalnie do wymagających zastosowań w wysokotemperaturowych polach termicznych w produkcji półprzewodników. Wytwarzany z wysokiej jakości prekursorów węglowych i oczyszczany w procesie zaawansowanej obróbki, ten miękki filc charakteryzuje się wyjątkowo niskim poziomem zanieczyszczeń, doskonałą izolacją termiczną i wyjątkową adaptowalnością strukturalną. Jego elastyczna struktura pozwala na precyzyjne dopasowanie do złożonych konstrukcji pól termicznych, umożliwiając optymalizację gradientów temperatury i stabilne warunki procesu. Czekamy na Państwa zapytanie.
OPIS
Dlaczego czystość ma znaczenie w polach termicznych? Podczas produkcji trzeciej generacji?
W przypadku półprzewodników (SiC/GaN), tradycyjne filce izolacyjne o wysokiej zawartości popiołu (ponad 500 ppm) mają tendencję do uwalniania zanieczyszczeń metalicznych w temperaturach powyżej 1600°C. Powoduje to defekty sieci krystalicznej i obniża wydajność płytek.
Miękki filc Semixlab przechodzi nasz ekskluzywny proces oczyszczania chemicznego w wysokiej temperaturze, obniżając całkowity poziom zanieczyszczeń do poziomu poniżej 5 ppm. To nie tylko zapewnia czyste środowisko wzrostu, ale także zapewnia ekstremalną stabilność termiczną niezbędną do długotrwałego wzrostu kryształów.
Semixlab Edge
Jesteśmy czymś więcej niż dostawcą — jesteśmy Twoim partnerem w zakresie stref wysokich temperatur. Założona przez badaczy CAS, specjalizujemy się w łączeniu rozwiązań izolacyjnych z powłokami CVD (TaC/SiC). Nie dostarczamy wyłącznie filcu izolacyjnego; optymalizujemy całe pole termiczne, stosując grzałki grafitowe i porowaty TaC, aby zmniejszyć zużycie energii. Nasze wewnętrzne 5-osiowe obrabiarki CNC umożliwiają tworzenie niestandardowych, wstępnie zmontowanych zestawów, które dokładnie pasują do konstrukcji Twojego pieca, bez żadnych błędów.
SPECYFIKACJA
| Właściwości | Filc premium na bazie PAN | Filc wiskozowy o wysokiej specyfikacji |
| Całkowite zanieczyszczenia | ≤5 ppm (GDMS) | ≤10 ppm |
| Zawartość węgla | ≥% 99.99 | ≥% 99.95 |
| Gęstość masowa | 0.10 - 0.15 g/cmXNUMX | 0.08 - 0.12 g/cmXNUMX |
| Kond. termiczna (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m·K |
| Maksymalna temperatura pracy. | 2800°C (obojętne/próżniowe) | 2600°C (obojętne/próżniowe) |
| Grubość standardowa | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Zastosowania
Aplikacje krytyczne
Wydajność potwierdzona w praktyce:
Zaprojektowany do wzrostu SiC i krzemu (PVT/CZ), nasz filc działa jak stabilizator termiczny, zapobiegając dyslokacjom kryształów. W procesie MOCVD/Epitaksji (kompatybilnym z Aixtron i NuFlare) pozostaje obojętny w warunkach korozyjnych przepływów H₂/NH₂, blokując dyfuzję zanieczyszczeń. W przypadku ciągnienia włókien i spiekania szafirów, jego właściwości zerowego odgazowania zapewniają integralność próżni i zapobiegają utracie wydajności.
Przewaga konkurencyjna
Główne zalety
Ultrawysoka czystość (<5 ppm), testowana przez GDMS. Ściśle kontrolowana zawartość Al, B, Fe i innych kluczowych zanieczyszczeń, aby uniknąć zanieczyszczenia krzyżowego podczas wzrostu epitaksjalnego.
Doskonała izolacja termiczna: przewodność cieplna na poziomie zaledwie 0.12 W/m·K w temperaturze 1000°C, co pozwala ograniczyć utratę ciepła i kontrolować gradient temperatury w zakresie ±1°C.
Niski poziom uwalniania cząstek: Zoptymalizowane włókna i obróbka powierzchni redukują ilość pyłu w cyklach próżniowych, chroniąc susceptory i grzałki z grafitu CVD (TaC/SiC).
Wysoka elastyczność i dopasowanie: miękkie i kompresowalne, co pozwala na bezszwowe owijanie 360° w skomplikowanych piecach, zapobiegając wyciekom ciepła ze sztywnej izolacji.
FAQ
Zoptymalizowane FAQ
P: W jaki sposób miękki filc Semixlab wydłuża żywotność grzejników grafitowych?
A: Zapewniając bardziej stabilną osłonę termiczną, nasz miękki filc zmniejsza zapotrzebowanie na energię potrzebną do utrzymania zadanej temperatury, spowalniając w ten sposób sublimację węgla i utlenianie grafitowych elementów grzewczych.
P: Czy Państwa filc można stosować w środowiskach o dużym przepływie gazów?
O: Tak. W przypadku procesów wymagających dużej prędkości przepływu gazu (takich jak MOCVD) zalecamy nasz filc o wysokiej gęstości na bazie PAN lub rozwiązanie hybrydowe z warstwą folii grafitowej, które zapobiega erozji włókien i gwarantuje zerowe zanieczyszczenie cząsteczkami.
Nasze usługi
