Producent grafitowych susceptorów powlekanych CVD SiC do MOCVD i epitaksji

Przegląd produktów

W procesie wzrostu epitaksjalnego, susceptor ma bezpośredni wpływ na równomierność nagrzewania się płytek i stabilność środowiska wzrostu w całym procesie. Susceptory pokryte CVD SiC firmy Semixlab są wykonane z gęstego grafitu i pokryte powłoką SiC w naszym procesie. Co wnoszą?

● Przyzwoite przewodnictwo cieplne

● Równomierne profile temperaturowe na całej powierzchni wafla

● Solidna odporność na działanie chemikaliów procesowych

● Niskie uwalnianie cząstek

● Wydłużona żywotność części w strefach gorących

Powłoka CVD tworzy gęstą warstwę SiC, która chroni grafit przed agresywnymi gazami i zwiększa ogólną wytrzymałość elementu.

Kluczowe funkcje

Podłoże grafitowe o wysokiej czystości

Używamy gatunków grafitu, które zapewniają:

● Niska zawartość zanieczyszczeń

● Przewidywalna reakcja mechaniczna

● Wystarczające przewodnictwo cieplne

● Dobra odporność na szok termiczny

Ten grafit dobrze znosi szybkie cykle nagrzewania i schładzania.

Jednolita powłoka CVD SiC

Warstwa SiC zapewnia:

● Wysoka twardość powierzchni

● Dobra ochrona przed utlenianiem

● Zwiększona odporność na korozję

● Mniejsze ryzyko skażenia

Grubość powłoki i wykończenie powierzchni można dostosować do konkretnego procesu.

Doskonała równomierność termiczna

Uzyskanie stabilnego pola termicznego jest nieodzowne w przypadku epitaksji. Połączenie przewodnictwa grafitu i właściwości powierzchniowych SiC pozwala uzyskać:

● Jednolita temperatura płytek

● Bardziej stabilne przetwarzanie

● Lepsza powtarzalność między przebiegami

Stabilność w wysokiej temperaturze

Te susceptory są zbudowane tak, aby wytrzymać trudne warunki panujące w półprzewodnikach:

● Wysokie temperatury pracy

● Częste cykle termiczne

● Utrzymana stabilność procesu przez długi czas

Dlaczego warto wybrać Semixlab?

Zaawansowana technologia powlekania CVD

Posiadamy praktyczne doświadczenie w zakresie materiałów węglowych i powłok CVD, a także jesteśmy w stanie dostosować elementy grafitowe powlekane SiC do konkretnego zastosowania półprzewodnikowego.

Możliwość produkcji dostosowanej do potrzeb

Zajmujemy się:

● Prototypy

● Małe serie

● Produkcja seryjna

● Niestandardowe rozmiary i wzory

Kontrola jakości

Każda część jest sprawdzana pod kątem:

● Precyzja wymiarowa

● Stan powierzchni

● Jednorodność powłoki

● Niezawodność procesu